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三靶磁控溅射仪 360元/样本

仪器型号:VTC-600-3HD    仪器产地:中国

服务内容:镀膜

仪器编码:1600832S

服务机构: 海南大学

机构地址:海南省海口市美兰区海南省海口市美兰区

委托协议: 暂未上传

仪器型号:VTC-600-3HD

产地国别:无

运行状态:正常

造厂商:沈阳科晶自动化设备有限公司

仪器分类:其他仪器

主要技术指标

技术参数

1、电源电压:220V 50Hz 2、总功率:<2.5KW 3、极限真空度:< E-6mbar(配合本公司设备使用可达到 E-5mbar) 4、工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度) 5、靶枪数量:3个 6、靶枪冷却方式:水冷

功能/应用范围

1、配置三个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜(靶枪可以根据客户需要任意调换)。 2、可制备多种薄膜,应用广泛。 3、体积小,操作简便。 4、整机模块化设计,真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计,可根据用户实际需要调整。 5、可根据用户实际需要选择电源,可以一个电源控制多个靶枪,也可多个电源单一控制靶枪。

仪器服务信息

共享模式:外部共享

对外开放共享规定:不对样品进行前处理,且样品直径不得大于10mm

收费标准:参考海南大学共享设备检测项目收费方法

仪器安放地址:海南省海口市美兰区人民大道58号海南大学国家重点实验室325

仪器联系人:李德

联系电话:15799031362

电子邮箱: 76291653@qq.com

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