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电子束镀膜机 1000元/次

仪器型号:定制    仪器产地:中国

服务内容:各种光学膜的镀制

仪器编码:2002427S

服务机构: 海南师范大学

机构地址:海南省海口市琼山区海南省海口市龙昆南路99号

委托协议: 暂未上传

仪器型号:定制

产地国别:无

运行状态:正常

造厂商:成都兴南科技有限责任公司

仪器分类:半导体集成电路工艺实验设备

主要技术指标

技术参数

一、真空室: 1、真空室结构:箱式前开门,尾箱与室体为一体化结构,304 不锈钢材料;蒸发室和抽气室为整体焊接式;箱体外表面不做油漆直接酸洗亮光不锈钢本色处理;室门、箱体外壁通冷却水(含高阀上端与真空室的连接部位),外表面为直接焊不锈钢 25*15 方形水管(耐 2-4 公斤水压)。 在真空室顶部设置起重吊环。 2、箱体尺寸:箱体内腔尺寸 Φ 720×850mm,采用整体优质 304 不锈钢材料。 3、真空室内腔表面处理要求:箱体内表面经过严格抛光处理。 4、真空室内壁衬防污板:内衬不锈钢防污板包含:室体抽气口与工作室之间的百叶窗挡板),由若干片组成,以方便拆卸、清洗。侧面防污板厚度 δ =1mm,底面防污板厚度 δ =3mm。 5、抽气口位置合理:配有 “L”型活动插板,以方便拆卸、清洗。 6、主机骨架:主机骨架采用型钢(材料:Q235-A )制造。 7、真空室内照明:真空室内配有照明碘钨灯一只,以方便观察室体内部情况及蒸发源工作状态。 8、真空室观察窗口:真空室门上设观察窗两个。 9、真空室门:采用 304 不锈钢材料,箱体门密封槽采用燕尾槽。

功能/应用范围

真空镀膜

仪器服务信息

共享模式:外部共享

对外开放共享规定:按设备所在实验室规定

收费标准:1000/次

仪器安放地址:海南省海口市美兰区海涛大道3号海南师范大学国家大学科技园中试楼105室

仪器联系人:赵志斌

联系电话:18876134344

电子邮箱: 124524871@qq.com

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