主要技术指标

技术参数

一、真空室： 1、真空室结构：箱式前开门，尾箱与室体为一体化结构，304 不锈钢材料；蒸发室和抽气室为整体焊接式；箱体外表面不做油漆直接酸洗亮光不锈钢本色处理；室门、箱体外壁通冷却水（含高阀上端与真空室的连接部位），外表面为直接焊不锈钢 25*15 方形水管（耐 2-4 公斤水压）。 在真空室顶部设置起重吊环。 2、箱体尺寸：箱体内腔尺寸 Φ 720×850mm，采用整体优质 304 不锈钢材料。 3、真空室内腔表面处理要求：箱体内表面经过严格抛光处理。 4、真空室内壁衬防污板：内衬不锈钢防污板包含：室体抽气口与工作室之间的百叶窗挡板），由若干片组成，以方便拆卸、清洗。侧面防污板厚度 δ =1mm，底面防污板厚度 δ =3mm。 5、抽气口位置合理：配有 “L”型活动插板，以方便拆卸、清洗。 6、主机骨架：主机骨架采用型钢(材料：Q235-A )制造。 7、真空室内照明：真空室内配有照明碘钨灯一只，以方便观察室体内部情况及蒸发源工作状态。 8、真空室观察窗口：真空室门上设观察窗两个。 9、真空室门：采用 304 不锈钢材料，箱体门密封槽采用燕尾槽。

功能/应用范围

真空镀膜

仪器服务信息

共享模式:外部共享

对外开放共享规定:按设备所在实验室规定

收费标准:1000/次

仪器安放地址:海南省海口市美兰区海涛大道3号海南师范大学国家大学科技园中试楼105室

仪器联系人:赵志斌

联系电话:18876134344

电子邮箱: 124524871@qq.com

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