主要技术指标

技术参数

1、原子层沉积反应腔室 1.1 腔室材质：6061镁铝阳极氧化沉积腔室，内表面阳极氧化； 1.2 真空漏率＜5×10-7 Pa•L/S，0.3um以上颗粒度增加值＜120颗； 1.3 样品台：适用于6寸圆片并兼容6寸以下尺寸，加热温度RT-400℃， 控制精度±0.5℃，样品台设有保护片托； 1.4控制系统：奥地利B&R PLC+工控机沉积自动控制系统，可处理100us级别的的信号循环周期，满足高精度ALD控制需求，搭配自主研发的沉积控制软件系统，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；（添加的数据参数要求） 1.5沉积模式：沉积平面样品的连续模式、沉积高深宽比样品及三维材料的停流模式； 1.6外挂式触摸屏，操作便捷； 2、前驱体源系统 2.1 3路标准加热液态前驱体源，配置swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃，可用于常规液态前驱体源； 2.2 1路常温水源，配置swagelok快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、200ml专用水源瓶；

功能/应用范围

原子层沉积技术基于表面自限制、自饱和吸附反应，具有表面控制性，所制备薄膜具有优异的三维共形性、大面积的均匀性等特点，适应于复杂高深宽比衬底表面沉积制膜，同时还能保证精确的亚单层膜厚控制。因此，原子层沉积技术在微电子、能源、信息等领域应用广泛。

仪器服务信息

共享模式:外部共享

对外开放共享规定:1、工作日送样测试，具体可预约时间、收费标准详见海南大学大型仪器共享服务平台系统。 2、自备源瓶，本仪器不接收放射性样品的测试。

收费标准:100元/小时（源瓶自备）

仪器安放地址:海南省海口市美兰区南海海洋资源利用国家重点实验室 实验设备公共平台220室

仪器联系人:吴云娣

联系电话:19989664682

电子邮箱: wuyundi@hainanu.edu.cn

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